Tungsten Sputtering Target factpry
Metoda de fabricație țintă
1. Metoda turnării
Metoda de turnare este de a topi materii prime din aliaje cu un anumit raport de compoziție și apoi de a turna soluția de aliaj topită într-o matriță pentru a forma un lingou, care este apoi prelucrat pentru a forma o țintă. Metodele de turnare necesită în general topirea și turnarea în vid. Metodele obișnuite de turnare includ: topirea prin inducție în vid, topirea cu arc în vid și topirea prin bombardament cu electroni în vid. Avantajele sale sunt că materialul țintă produs are un conținut scăzut de impurități, densitate mare și poate fi utilizat pe ținte la scară largă. producție chimică; dezavantajul este că, dacă două sau mai multe metale cu diferențe mari de punct de topire și densitate sunt topite, este dificil să se realizeze o țintă de aliaj cu compoziție uniformă prin metode convenționale de topire.
2. Metoda metalurgiei pulberilor
Metoda metalurgiei pulberilor este de a topi materii prime din aliaje cu o anumită proporție de ingrediente, apoi turnați soluția de aliaj obținută după topire într-un lingou, zdrobiți lingoul turnat, presați static pulberea zdrobită în formă și apoi sinterizați-o la temperatură ridicată pentru formează o țintă. material. Avantajul materialului țintă realizat în acest mod este că compoziția este uniformă; dezavantajul este că densitatea este scăzută și conținutul de impurități este ridicat. Industriile de metalurgie a pulberilor utilizate în mod obișnuit includ presarea la rece, presarea la cald în vid și presarea izostatică la cald.
Ținte de pulverizare 80% tungsten
80% W Ținte de pulverizare
